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二手多晶硅长晶炉回收+金华离子泵回收附近的电话

发布:2024/4/20 3:17:37 来源:shxj365


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与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11,其特征在于经氩气输入管12 输入的氩气气压为0. 8 x 103Pa0. 9 x 103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20,其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l,设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2。本实施例的直拉式单晶生长炉包括氩气输入管12为现有技术的切克劳斯基(直拉)法硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的氩气输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。具体实施方式以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3,该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1,该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2,该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。

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电源负载能力差是一个常见的故障,一般都是出现在老式或工作时间长的电源中,主要原因是各元器件老化,关管的工作不稳定,没有及时进行散热等。应检查稳压二极管是否发热漏电,整流二极管损坏,高压滤波电容损坏等。2,根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于还包括设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该部的排气口(13)之间的气流导向装置(20)。与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)。权利要求1其特征在于经氩气输入 9×103Pa该气流导向装置(20)为碗形。一种直拉式单晶生长炉,包括设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)其包括设于气流导向装置(20)底部的中轴孔(2-1)该炉的石墨中轴(21)穿过所疼气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)气流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16)之间。3其特征在于所述气流导向装置(20)的电极孔(2-2)分别与该炉的电极柱(15)密封连接。

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